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高压气体质量流量控制器
高压4Mpa(Dp1Mpa)

产品型号:FL-802
更新时间:2015-06-23 22:22:48
产品简述:       
       FLOWMETHOD气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域科研和生产中有着重要而广泛的应用。
        FL-802系列产品主要用在最大耐压10Mpa,差压范围在0.01-2Mpa的常规型客户。
        根椐您的具体工艺需求,FLOWMETHOD将为您提供最专业的解决方案,详情请致电深圳弗罗迈测控系统有限公司4006360780咨询。
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规格 模拟/数字
流量范围 10SLPM(客户可指定任何一点量程标定10SCCM-10SLPM任意点指定)
精度 1% ± 0.5 % Rd±0.1% FS
重复性 ± 0.15%F.S
响应时间 小于1S 
压力范围 1Mpa,2Mpa,3Mpa,10Mpa
外漏率 1×10-9 SCCM(He)
供电电压 ±15VDC;
电源 4 Watts Maximum
控制信号 0-5 VDC
数字信号 RS-232/485,Profitbus,Devicenet
输出信号 0-5 VDC   

上一产品:高压3Mpa(Dp1MPa)
下一产品:高压6MPa(Dp1Mpa)